旋涂机"是一种使用旋转离心力的涂布设备,也被称为"旋转涂布机".关于平滑的被涂物(工件),能够形成薄且均匀的涂层。旋涂机的用途非常广泛,代表性用途包含半导体晶圆的外...
查看详情影响等离子清洗作用的要素有许多,其中最首要的是电源功率频率、作业压强、作业气体种类以及清洗的时刻。等离子清洗的作用会跟着功率的增大而变好;作业压强的挑选要根据...
查看详情匀胶机又称旋涂机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机,其整体由在国际上SOL-GEI技能抢先的美国凯美特技能公司(CHEMAT TECHNOLOGY, INC) 规划...
查看详情等离子刻蚀机,又名等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子外表处理仪、等离子清洗体系等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中常见的一种方式,其原理是暴露在电...
查看详情光刻机(Mask Aligner)又名:掩模对准曝光机,曝光体系,光刻体系等,是制造芯片的核心装备。它采用相似照片冲印的技术,把掩膜版上的精密图形经过光线的曝光印制到硅片上。...
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