旋涂技术常用的设备是旋涂机，旋涂机又叫甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机。一般来说，它们的原理都是一样的，就是将各种胶水滴在高速旋转的底板上，通过离心力使滴在基板上的胶水均匀地涂在底板上。厚度取决于不同胶水与底板之间的粘度系数，也与旋速和时间有关。

　　原则上，旋涂机有以下两个特点：(1)旋速。旋速的快慢和控制精度直接关系到旋涂的厚度控制和薄膜均匀性。如果电机的标注旋速与实际旋速存在较大误差，要求精确镀膜的科研人员就不可能获得准确的实验数据。目前，速度控制有国际标准，如美国的NIST标准。(2)真空吸附系统。真空泵一般采用无油泵，即干式泵，因为任何油污都可能堵塞真空管道。如果真空吸附力降低，会导致底板吸附不上的情况，造成‘飞片’，滴下的胶水会意外进入真空管道系统，造成完全堵塞。当真空吸附力不足时，通过联动机构，一些旋转涂布机不会开始旋转，这样可以有效防止滴下的胶水无意中进入真空管道系统。一般来说，它们的原理都是一样的，就是将各种胶水滴在高速旋转的底板上，通过离心力使滴在基板上的胶水均匀地涂在底板上。厚度取决于不同胶水与底板之间的粘度系数，也与旋速和时间有关。

　　如何选择旋涂机：

　　1、旋转速度：旋转速度的速度和控制精度直接关系到旋涂的厚度控制和薄膜均匀性。如果电机的标注旋速和实际转速与旋涂机图册误相差很大，要求精确镀膜的科研人员就不可能获得准确的实验数据。国内大多数低端旋涂机只能提供速度范围，无法校准实时速度。

　　2、真空吸附系统的结构。真空泵必须无油，且压力校准准确。国产无油真空泵真的不敢恭维，因为任何油污都有可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，就会导底板吸附不上，产生“飞片”的情况，胶滴会意外进入真空管道系统，造成完全堵塞。用过国产旋涂机的客户，往往会关心如何清洗。

　　3、材料选择。对于半导体化工旋涂机的应用，材料的选择尤为关键。国内的旋涂机大多采用铁板喷漆或者普通塑料材料，因为这种材料成本很低。如果这种变形导致托盘的位置失去水平，就会导致旋涂时高低不平的状态，自然不能获得良好的旋涂效果。目前部分国外品牌使用天然聚丙烯或聚四氟乙烯，这两种材料具有环保、节约资源、重量轻、强度高、耐冲击性好、经久耐用、花纹自然、光泽度好等优点。