旋涂机"是一种使用旋转离心力的涂布设备，也被称为"旋转涂布机".关于平滑的被涂物（工件），能够形成薄且均匀的涂层。旋涂机的用途非常广泛，代表性用途包含半导体晶圆的外表处理、光阻涂布等流程类工序，以及光学媒介涂膜、镜头底剂及调光液的涂布等。


　　将涂液滴落在被涂物（工件）的中心，进行高速旋转。加快旋转会对涂液施加离心力，使涂液扩散到整个外表并成膜。涂布膜厚取决于涂液的粘度、被涂物的转速、旋转启动加快度、与枯燥速度相关的排气。


　　旋涂的原理是依托旋转离心力将多余的涂液甩离被涂物，因而实际成膜的液量要少于滴落的液量，存在会导致资料损耗的缺点。为了经过排气控制枯燥速度，避免涂液飞溅到设备外部，避免异物混入。


　　旋转体及滴落的组织一般都会被收纳在箱体中，或采用涂裱时关闭上盖的设计款式。设备的基本原理在近几十年并未改变，但适用于被涂物不同尺寸、分量、材质的设备，转速（速度）控制、主动滴落之类的规格功能等，都实现了愈加多样化的发展。