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旋涂机要如何进行选购?

  从旋涂机的原理可以看出,选购旋涂机时需要注意的一些细节。下面给大家分享一下旋涂机的选购技巧,一起来了解吧!

  1.抬前轮速度

  转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂的厚度控制和薄膜均匀性。如果电机的标注转速与实际转速存在较大误差,要求精确镀膜的科研人员就不可能获得准确的实验数据。国内有些旋涂机只能提供速度范围,不能校准实时速度。虽然大部分进口的旋涂机都可以标定转速,但是大部分转速精度都没有得到标准的认可。建议购买速度控制的标准。

  2.真空吸附系统的结构

  真空泵必须无油,且压力校准准确。国产无油真空泵真的不敢恭维。因为任何油污都有可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,就会导致基板吸附不上,产生‘飞片’的情况,还会使胶滴意外进入真空管道系统,造成完全堵塞。用过国产旋涂机的客户,往往会关心如何清洗。许多国外旋转涂布机做得很好。它们有联动机构,如果真空吸附力不够,就不会开始转动。

  3.材料的选择

  对于半导体化学工业的应用,材料的选择尤为关键。大部分的旋涂机都是用不锈钢或者普通塑料制成的,因为这种材料的成本很低,不锈钢对各种化学粘合剂的耐腐蚀性不是很好,塑料在高温高压下容易变形。

  如果这种变形导致托盘的位置失去水平,就会导致旋涂时高低不平的状态。自然,不能获得良好的旋涂效果。例如,美国的模型是由天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)制成的。这两种材料具有环保、节约资源、重量轻、强度高、耐冲击性好、经久耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

  然后,旋涂机工作前的准备工作如下:

  1.旋涂机收到时,旋涂机的锅体需要用通风螺丝固定,锅盖上的手柄配件都有,所以收到时需要用螺母固定;

  2.用双插头电源线将机器连接到安全的220V电网。

  3.用真空泵的接头将真空泵与机体后部的吸嘴连接起来;(如果使用其他真空泵,应使用合适的连接器以确保连接的可靠性)

  4.用干净的布擦锅。如果有锅垫,就放上,保持锅的干净。

  5.之后安装适合衬底的托盘,让旋涂机开始实验;