旋涂技术常用的设备是旋涂机，旋涂机又叫甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机。一般来说，它们的原理都是一样的，就是将各种胶水滴在高速旋转的基板上，通过离心力使滴在基板上的胶水均匀地涂在基板上。厚度取决于不同胶水与基板之间的粘度系数，也与转速和时间有关。

　　旋涂机旋涂过程根据基片转速和胶的变化可分为几个阶段：滴胶、加速旋涂胶、匀旋胶和切边，其中第三阶段匀旋阶段是控制涂胶厚度和均匀性的重要阶段。

　　滴胶：旋涂机在滴胶之前，需要对胶水进行亚微米级的过滤，否则薄膜可能会形成彗星图、星形图和气泡。滴胶阶段是将晈体溶剂沉积在基板中心位置的过程，可以手动滴，也可以用自动滴胶器滴。总的来说，自动滴胶法是一种自动化、机械化的操作，薄膜的厚度、均匀性、重复性都很好，还可以减少挥发性有毒气体的接触。

　　扩散-加速旋转：某些晈体中的溶剂非常易挥发，如果不在短时间内稳定快速地将基底加速到设定的速度，晈体中的溶剂会迅速蒸发，导致晈体的粘度迅速增加，从而影响涂层厚度的控制。在加速阶段，衬底以一定的加速度旋转，晈体溶剂开始向衬底边缘扩散，部分晈体会被甩出衬底。加速初期，晈体沉积在基底表面一定高度，晈体底部贴在基底表面，一起旋转。但由于惯性，上层晈体不能和基板同速旋转，所以晈体形成螺旋状。随着晈体在离心力的作用下不断向基底边缘扩散，螺旋逐渐消失，晈体变薄并覆盖基底表面。涂覆基材的旋转速度完全同步。在衬底的加速旋转阶段，高精度地控制旋转速度和精确地设置旋转时间是非常重要的。实际上，无论背胶具有什么样的性能，旋涂机都需要一个高精度、稳定的电机转速控制系统，才能做出厚度均匀可控的薄膜。

　　边缘涂布：在旋涂机匀速旋转阶段，晈体的粘度和挥发是影响薄膜厚度不均匀的重要因素。当溶剂加速到设定的速度时，就形成了一定厚度的涂层。在随后的匀速旋转过程中，由于晈体的粘滞力仍然小于离心力，涂层继续向基板边缘扩散，基板边缘的晈体不断被甩出，涂层厚度逐渐减小。同时，由于涂层已经覆盖了整个基材表面，由于基材上方快速流动的空气的影响，溶剂的挥发速度加快，导致晈体的粘度增加，形成不易流动的晈体。此时晈体涂层各个方向的力平衡，涂层厚度达到终端状态。在镀膜的边缘，由于晈体的表面张力，薄膜边缘的晈体很难被甩离基板，会形成一层厚度不均匀的薄层，甚至会扩展到基板的背面，所以需要对基板边缘进行修整。