显影
①NKG高精流量阀
(NKG APV601N)
②药液量精度±0.1ml.
③喷完后有回吸供能控制.
④显影液具备加热保温装置,保持药液所需温度.
⑤中央供酸 (接口规格配合客户规格提供) 送药至20L压力桶*2座
⑥EMO紧急安全装置
+三色蜂鸣警灯
+药液防漏盘及防漏感应SENSOR.
+安全防护标示
全自动晶圆显影机适用先进封装制程涂布显影，专业结构设计喷涂均匀，快速。
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