光阻涂布

光阻涂布

UV LED光刻机

产品型号:

产品联络人

许先生
0086-13773120108
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  • 规格
  • 描述
应用范围: *半导体(Semiconductor)
*微机电(MEMS)
*被动组件(Passive Component)
*触控面板(Touch Panel)
*显示器(Display Panel)
*发光二极管(LED)
规格: *Exposure light source: UV LED (365nm、405nm、436nm)
*Substrate Size 2”~8”、8”~12”
*Uniformity: ≦5%
*Alignment Accuracy: +- 1um
*Throughput:≧60 wph

适用4吋的圆型基版,制程更好、体积更小,寿命更长且曝光精准。

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