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许先生
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应用范围:	半导体(Semiconductor)、微机电(MEMS) 被动组件(Passive Component)、触控面板(Touch Panel) 显示器(Display Panel)、发光二极管(LED)
基本规格：	Exposure light source: 3.5KW、5KW、8KW、10KW Substrate Size 2”~8”、8”~12” Uniformity: ≦ 5% Alignment Accuracy: ± 1um Throughput: ≧90 wph

采用专利对位与光学系统，提供生产单位所需要的低成本、高效率设备。适用工业4.0大数据收集。