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许先生
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应用范围：	半导体(Semiconductor) 微机电(MEMS) 被动组件(Passive Component) 触控面板(Touch Panel) 显示器(Display Panel) 发光二极管(LED)
规格：	Exposure light source: 350W、500W、1KW、2KW Substrate Size 2”~8”、8”~12” Uniformity: ≦5% Alignment Accuracy: +- 1um *Throughput:≧60 wph

采用专利对位与光学系统，提供研发单位和使用最新光刻工艺所需要的弹性设备。适用工业4.0大数据收集。