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许先生
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应用范围：	半导体(Semiconductor) 微机电(MEMS) 被动组件(Passive Component) 触控面板(Touch Panel) 显示器(Display Panel) 发光二极管(LED)
规格：	Exposure light source: 350W、500W、1KW、2KW Substrate Size 2”、4”、6”、8”、10”、12”-up to 24” Uniformity: > ±3% and <±5% Alignment Accuracy: ± 1um *Throughput:≧65 wph
优点：	专利平整校正机构/高精度、人性化操作界面、依制程需求模组客制化。
可选配双面对准制程：	Back Side IR（红外光对准）/ Bacj Side Visible（背面CCD/显微镜对准）。

专利平整校正机构/高精度/人性化操作接口，可依制程需求模块客制化。另可选配双面对准制程：红外光对准与背面CCD/显微镜对准。