等离子清洗机又称离子表面处理器、等离子清洁机，利用等离子体达到常规清洗方法达不到的效果，是一种全新的高科技技术。等离子体是物质的一种状态，不属于常见的固、液、气三态，又称物质第四态。当足够的能量施加到气体上使其电离时，它就变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括：离子、原子、电子、激发态核素、活性基团、光子等。等离子清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗和镀膜的目的。

　　等离子清洗机优势：

　　1.使用等离子清洗机，等离子清洗后待清洗物体干燥，无需干燥即可送入下一道工序，可以提高整条生产线的加工效率。

　　2.等离子清洗可以让用户远离有害溶剂对人体的伤害，同时也可以避免湿法清洗中清洗对象容易被冲掉的问题。

　　3.等离子清洗机可以避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，清洗后不会产生有害污染物。因此，这种清洗方法属于环保绿色清洗方法，这在全球环境保护的背景下变得越来越重要。

　　4.等离子清洗机无线电波范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光，等离子体的方向性不强，可以深入到物体的细小孔洞和凹陷处完成清洁任务，所以不需要过多考虑被清洁物体的形状。而且这些难以清洗的部件的清洗效果和氟利昂清洗差不多，甚至更好。

　　5.使用等离子清洗可以大大提高清洗效率，整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有成品率高的特点。

　　6.等离子体清洗要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件容易实现。所以这种装置清洗过程也不需要使用昂贵的有机溶剂，设备成本不高，使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺。

　　7.采用等离子清洗，避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，因此生产现场易于保持清洁。

　　8.不管要处理的对象是什么，都可以使用等离子体清洗。等离子清洗机可以处理各种材料，无论是半导体、金属、氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适用于耐热、耐溶剂的材料，而且可以选择性地清洗材料的整体、部分或复杂结构。

　　9.等离子清洗机在完成清洁和去污的同时，还可以提高材料本身的表面性能。例如改善表面的润湿性、改善膜的粘附性等。这在许多应用中非常重要。