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刻蚀机和光刻机我国技术如何?

  众所周知,芯片的原料是沙子,但是从沙子到芯片,中间有N道工序,需要N种设备和spire技术。在这些器件中,光刻机和刻蚀机是较重要的。根据机构的数据,光刻机的成本约占24%,而刻蚀机的成本约占20%,这两种设备加起来占44%。

  然后是薄膜沉积设备、测试设备和封装设备,分别占20%、9%和6%。但是薄膜沉积设备不是只有一种,而是一种机器,种类很多,不同于光刻机和刻蚀机。

  那么问题来了,既然这两种设备如此关键,那么国内光刻机和刻蚀机技术怎么样,与国际先进水平相比差距有多大?

  先说光刻机,这是大家较为关心的。目前世界上顶级的光刻机自然是ASML的0.55孔径的EUV光刻机。价格在22亿左右,可以生产2nm以下甚至艾米(0.1nm)级别的芯片。然后是ASML的EUV光刻机,0.33口径,十亿元,可以生产5nm,4nm,3nm级别的芯片。但是,EUV光刻机只有ASML能生产,连尼康和佳能都不能生产。目前国内厂商上海微电子可以生产,不为大众所知(不太清楚),只能用90nm工艺,距离ASML至少还有10年。

  再说说刻蚀机,这一块国产的很厉害。国内有一家厂商叫微半导体,生产刻蚀机,精度3nm,被TSMC采用。微半导体的刻蚀机与国际顶级应用材料和林凡相比,处于同一水平,并不落后。另外薄膜沉积设备也是北方的华创生产的,但是精度在14nm左右,国产化率10%到15%。

  可以看到,半导体设备的关键产品,除了光刻机,都不是特别落后。只要国产光刻机能有所突破,纯国产芯片的技术就能快速突破。